Ero PVD n ja CVD n välillä
Share
PVD vs. CVD
PVD (fysikaalinen höyrystys) ja CVD (kemiallinen höyrystys) ovat kaksi tekniikkaa, joita käytetään luomaan erittäin ohut materiaalikerros substraattiin; kutsutaan yleisesti ohuiksi kalvoiksi. Niitä käytetään laajalti puolijohteiden tuotannossa, joissa hyvin ohuet kerrokset n- ja p-tyyppisiä materiaaleja luovat tarvittavat liitokset. Suurin ero PVD: n ja CVD: n välillä on niiden käyttämät prosessit. Kuten jo olet jo päätellyt nimistä, PVD käyttää vain fyysisiä voimia kerroksen tallettamiseen, kun taas CVD käyttää kemiallisia prosesseja.
PVD: ssä puhdas lähdemateriaali kaasutetaan haihduttamalla, käyttämällä suuritehoista sähköä, laser-ablaatiota ja muutamaa muuta tekniikkaa. Kaasumainen materiaali tiivistyy sitten substraattimateriaaliin halutun kerroksen luomiseksi. Koko prosessissa ei tapahdu kemiallisia reaktioita.
CVD: ssä lähtömateriaali ei oikeastaan ole puhdasta, koska se sekoitetaan haihtuvan esiasteen kanssa, joka toimii kantajana. Seos injektoidaan kammioon, joka sisältää substraatin, ja lasketaan sitten siihen. Kun seos on jo tarttunut substraattiin, edeltäjä lopulta hajoaa ja jättää lähteen halutun kerroksen substraattiin. Sitten sivutuote poistetaan kammiosta kaasuvirtauksen kautta. Hajoamisprosessia voidaan avustaa tai nopeuttaa käyttämällä lämpöä, plasmaa tai muita prosesseja.
Olipa kyse CVD: n tai PVD: n kautta, lopputulos on pohjimmiltaan sama, koska ne molemmat luovat erittäin ohut materiaalikerros halutusta paksuudesta riippuen. CVD ja PVD ovat erittäin laajoja tekniikoita, joiden alla on joukko tarkempia tekniikoita. Todelliset prosessit voivat olla erilaisia, mutta tavoite on sama. Jotkut tekniikat saattavat olla parempia tietyissä sovelluksissa kuin toiset kustannusten, helppouden ja monien muiden syiden takia; joten ne ovat edullisia tällä alueella.
Yhteenveto:
- PVD käyttää vain fyysisiä prosesseja, kun taas CVD käyttää pääasiassa kemiallisia prosesseja
- PVD käyttää tyypillisesti puhdasta lähdemateriaalia, kun taas CVD käyttää sekoitettua lähdemateriaalia
